Depozice ultratenkých vrstev pomocí plazmy a metody jejich měření

Abstract

Práce se zabývá tématem zdrojů plazmatu za atmosférického tlaku a jejich průmyslových aplikací, zejména v chemickém a plastikářském průmyslu. Tato část zahrnuje jak depozici tenkých vrstev pomocí plazmatu, tak i ostatní aplikace plazmatu za atmosférického tlaku. Druhá část práce podává přehled nejpoužívanějších metod měření tenkých vrstev a shrnuje možnosti a podmínky jejich využití a také jejich výhody a nevýhody.