Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie

Navrátil, Jaroslav

Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie

DSpace Repository

Language: English čeština

Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie

dc.contributor.advisor	Urbánek, Michal
dc.contributor.author	Navrátil, Jaroslav
dc.date.accessioned	2021-07-26T10:57:55Z
dc.date.available	2021-07-26T10:57:55Z
dc.date.issued	2020-02-03
dc.identifier	Elektronický archiv Knihovny UTB
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10563/49042
dc.description.abstract	Tato práce se zaměřuje na techniku elektronové litografie a přípravu struktur v polymerním rezistu PMMA pomocí expozice elektronovým svazkem. Pozornost je věnována procesu vyvolávání rezistu a vyhodnocení struktur pomocí optického mikroskopu, mechanického profilemetru a mikroskopu atomárních sil (AFM).
dc.format	56
dc.language.iso	cs
dc.publisher	Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně
dc.rights	Bez omezení
dc.subject	Elektronová litografie	cs
dc.subject	polymerní rezist	cs
dc.subject	proces vyvolání	cs
dc.subject	kontrast rezistu	cs
dc.subject	optická mikroskopie	cs
dc.subject	mechanická profilometrie	cs
dc.subject	AFM	cs
dc.subject	Electron-beam lithography	en
dc.subject	polymer resist	en
dc.subject	process of resist development	en
dc.subject	contrast of resist	en
dc.subject	optical microscopy	en
dc.subject	mechanical profilometry	en
dc.subject	AFM	en
dc.title	Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
dc.title.alternative	Application of Polymers for Electron Beam Lithography
dc.type	bakalářská práce	cs
dc.contributor.referee	Minařík, Antonín
dc.date.accepted	2020-06-11
dc.description.abstract-translated	This bachelor thesis is focusing on the technique of electron-beam lithography and preparation of structures in polymer resist PMMA using electron beam exposure. Attention is paid to the process of resist development and evaluation of structures using an optical microscope, a mechanical profilometer and an atomic force microscope (AFM).
dc.description.department	Ústav fyziky a mater. inženýrství
dc.thesis.degree-discipline	Materiálové inženýrství	cs
dc.thesis.degree-discipline	Materials Engineering	en
dc.thesis.degree-grantor	Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická	cs
dc.thesis.degree-grantor	Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology	en
dc.thesis.degree-name	Bc.
dc.thesis.degree-program	Chemie a technologie materiálů	cs
dc.identifier.stag	55935
utb.result.grade	A
dc.date.submitted	2020-05-20