Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu
Zobrazit celý záznam
Není dostupný náhled
Název:
|
Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu |
Autor: |
Johanidesová, Eva
|
Vedoucí: |
Vašek, Vladimír
|
Abstrakt:
|
Diplomová práce popisuje AFM, SMM mikroskopii, jejich funkce a konkurenční mikroskopii SEM. V této práci jsou ukázky a analýzy křemíkových desek, které jsou dodány od firmy ON SEMICONDUCTOR. Tato práce se zabývá koncentracemi příměsi dopantů a porovnáním výsledků s konkurenčními metodami měření. |
URI:
|
http://hdl.handle.net/10563/25433
|
Datum:
|
2013-02-24 |
Dostupnost:
|
Bez omezení |
Ústav:
|
Ústav automatizace a řídicí techniky |
Studijní obor:
|
Automatické řízení a informatika |
Klasifikace závěřečné práce a její obhajoby:
|
A
31588
|
Citace závěřečné práce
Soubory tohoto záznamu
Tento záznam se objevuje v následujících kolekcích
Zobrazit celý záznam
Prohledat DSpace
Procházet
-
Vše v DSpace
-
Tato kolekce
Můj účet