Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu
Show full item record
No preview available
Title:
|
Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu |
Author: |
Johanidesová, Eva
|
Advisor: |
Vašek, Vladimír
|
Abstract:
|
Diplomová práce popisuje AFM, SMM mikroskopii, jejich funkce a konkurenční mikroskopii SEM. V této práci jsou ukázky a analýzy křemíkových desek, které jsou dodány od firmy ON SEMICONDUCTOR. Tato práce se zabývá koncentracemi příměsi dopantů a porovnáním výsledků s konkurenčními metodami měření. |
URI:
|
http://hdl.handle.net/10563/25433
|
Date:
|
2013-02-24 |
Availability:
|
Bez omezení |
Department:
|
Ústav automatizace a řídicí techniky |
Discipline:
|
Automatické řízení a informatika |
Grade for thesis and defense:
|
A
31588
|
Citace závěřečné práce
Files in this item
This item appears in the following Collection(s)
Show full item record
Search DSpace
Browse
-
All of DSpace
-
This Collection
My Account