Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu
Show full item record
No preview available
| 
Title: 
 | 
Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu | 
| Author: | 
Johanidesová, Eva
 | 
| Advisor: | 
Vašek, Vladimír
 | 
| 
Abstract:
 | 
Diplomová práce popisuje AFM, SMM mikroskopii, jejich funkce a konkurenční mikroskopii SEM. V této práci jsou ukázky a analýzy křemíkových desek, které jsou dodány od firmy ON SEMICONDUCTOR. Tato práce se zabývá koncentracemi příměsi dopantů a porovnáním výsledků s konkurenčními metodami měření. | 
| 
URI:
 | 
http://hdl.handle.net/10563/25433
 | 
| 
Date:
 | 
2013-02-24 | 
| 
Availability:
 | 
Bez omezení | 
| 
Department:
 | 
Ústav automatizace a řídicí techniky | 
| 
Discipline:
 | 
Automatické řízení a informatika | 
| 
Grade for thesis and defense:
 | 
A
31588
 | 
        	     
                
Citace závěřečné práce
Files in this item
This item appears in the following Collection(s)
Show full item record
 
 
Search DSpace
Browse
- 
All of DSpace
 
- 
This Collection
 
 
My Account